JKZC-ST4型半导体材料四探针测试仪

关键词：电阻，电阻率，四探针，半导体

膜探头测薄膜                  钨针探头

一、产品概述

    JKZC-ST4型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》并参考美国 A.S.T.M 标准。

仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、测量简便、结构紧凑、使用方便等特点。

仪器适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试。

二、符合：

1、符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、

2、符合GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》

3、符合美国 A.S.T.M 标准

二、产品应用：

1、测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻；

2、可测柔性材料导电薄膜电阻率/方阻

3、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜（ITO膜）电阻率/方阻

4、纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻

5、电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量

6、可测试电池极片等箔上涂层电阻率方阻

二、基本技术参数

1、  测量范围

     电  阻：1×10-4～2×105 Ω   ，分辨率：1×10-5～1×102 Ω

   电阻率：1×10-4～2×105 Ω-cm，分辨率：1×10-5～1×102 Ω-cm

   方  阻：5×10-4～2×105 Ω/□，分辨率：5×10-5～1×102 Ω/□

2、测量方式：自动或手动

3、基本精度：±0.1/%

4、四探针探头：

   (1)碳化钨探针：Φ0.5mm，直线探针间距1.0mm，探针压力: 0～2kg 可调

   (2)薄膜方阻探针：Φ0.7mm，直线或方形探针间距2.0mm，探针压力: 0～0.6kg 可

5. 电源：198V －242V(AC），47.5Hz －63Hz

6、操作环境：  0°C －40°C ，≤90%RH

7、外形尺寸：200mm（长）×220 mm（宽）×100mm（高）

8、数据传输方式；USB

9、软件方式：人性化分析软件界面，数据自动生成 

                      分析软件（一）