HET-1T多功能高精度二维材料显微转移系统

关键词：二维材料，干法，湿法，范德华 

适用于石墨烯，硫化钼，黑磷等单层材料精确定点转移，以及多层范德华异质结的制备。
由于在制备多层异质结结构的二维半导体材料晶体管的过程中，需要将一层二维材料转移到另一层二维材料上。在常规的大气环境中进行转移操作时，难免会遇到转移后两层材料中含有少量气泡的问题；并且，某些二维材料会受到空气中水和氧的影响，使得材料本身的性能下降。两者使得器件性能大大下降。

1. 显微转移操作平台：

a. 四轴可调衬底载物平台： XY方向行程 20mm，转移对位操作精度2μm；绕z 轴手动调节旋转最大±90°，测微器精细调节，行程5°，调节精度0.5°左右； 绕x轴和y 轴倾斜台，调节方式手动转轮，台面厚度20mm，倾斜角度±2°。

b. 衬底载物平台加热系统：样品台加热最高温度为240 ℃，使用 PID 温度控制器，温度控制稳定性小于±1℃（稳定性≦±0.1℃），带加热开关。

c. 四轴可调载玻片移动平台：载玻片 XYZ三轴可调，80mm高稳定性台面，行程25mm，测微丝杆控制；Z轴为29mm直径百刻线微分头，便于精细升降操作；样品送入手动旋转台，台面直径100mm，粗调旋转范围360°，细调旋转范围±5°，定位精度1~ 2°；

d. 支持真空自动吸附样品，确保转移过程中目标样品位置精确固定；真空泵电磁阀控制，按钮控制是否吸附样品；真空泵：25L-35L/min 流量；

e．双边载玻片夹具：辅助夹具片2片，夹具片75*25*1.5mm；

f．集成控制机箱：集成机柜包括电源、显微镜LED控制、温度控制、真空开关控制，工作电压220V，最大输出功率800W；

2. 显微成像光路系统：

a.  单筒显微镜：变倍比1:6.5，变倍范围0.7X-4.5X，标准工作距离90mm，分辨率63-180lp/mm，95mm超长工作距离20倍物镜，综合最大放大倍率850~900倍；双固定位设计，高倍放大下图像无明显抖动。

b. 白色LED照明：同轴照明系统，选用高亮度单颗1W LED，色温5500K，照明均匀；LED照明控制器90V-250V宽电压,1W LED控制器，可调光；

c. 显微相机：1920x1080高灵敏度CMOS传感器，30fps速度保存；支持HDMI相机直接输出到显示器；曝光时间0.4ms~999ms，自动白平衡；支持WIFI数据传输；提供显微相机操作软件，支持电脑控制，可软件测量显微样品尺寸及角度；工作温度-10~ 50摄氏度。

d. 显微观察支架：一体式高稳定性支架，长宽高240mm*100mm* 100mm，重量20kg，支持沿 xy方向 50mm行程，可大范围调节显微镜观察位置；

e. 显示器：24英寸1920*1200全高清专业显示器。