轻松实现从毫米到纳米无缝转换测量。
兼具激光共聚焦显微镜和探针显微镜功能的一体机。
轻松检测85°尖锐角
采用了有着高N.A. 的物镜和光学系统(能大限度发挥405 nm 激光性能),LEXT OLS4500 原子力激光共聚焦显微镜可以精确地测量一直以来无法测量的有尖锐角的样品。
LEXT 物镜 有尖锐角的样品(剃刀) 高度分辨率10nm,轻松测量微小轮廓
由于采用405 nm的短波长激光和更高数值孔径的物镜,OLS4500原子力激光共聚焦显微镜达到了0.12μm的平面分辨率。因此,可以对样品的表面进行亚微米的测量。结合高精度的光栅读取能力和奥林巴斯*的亮度检测技术,OLS4500可以分辨出亚微米到数百微米范围内的高度差。此外, 激光显微镜测量还保证了测量仪器的两大指标——“正确性”(测量值与真正值的接近程度)和“重复性”(多次测量值的偏差程度)的性能。
0.12μm行间距 高度差标准类型B, PTB-5
从大范围拼接影像中目标区域
高倍率影像容易使视场范围变小,而通过设置,OLS4500的拼接功能多可以拼接625幅影像,从而能够获得高分辨率的大范围视图数据。不仅如此,还可以在该大范围视图上进行3D显示或3D测量。
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