主要功能及技术指标

二手日立喷金仪主要功能：

1. 二次电子形貌（SEI）：对试样进行表面形貌观察分析；2. 背反射成分像/形貌像（BEI）：对试样进行更深一层的形貌观察，并得到原子序数衬度；3. 元素的定性定量分析（EDX）：结合X射线能谱仪对试样表面某区域或某点进行成分定性和定量分析；4. 图像分析处理系统（IPS）：根据所得图像，对试样进行粒度、孔径大小、气孔分布等进行分析。

主要技术指标：HORIBA EX-250型能谱仪。分析元素范围：Be4～U92号元素。

（1）分辨率：1.0nm (15kV)；1.0nm (1kV)

（2）加速电压：0.5 ~ 30kV，0.1kV/步

（3）放大倍率：×20 ~ ×800,000

（4）束流强度：1pA～2nA

（5）样品室和样品台：样品台驱动：3轴马达驱动；移动范围：X：0~50mm；Y：0~50mm；Z：1.5~30mm；T：-5~+70°；R：360°；样品尺寸：100mm

（6）

其它备注

1. 主机(包括电子光学系统；气阀自动调节真空系统，配备三台离子泵、一台涡轮分子泵、一台机械泵；高位/低位二次电子检测器；3轴马达驱动I型样品台。

2. 自动变压器。

3. 冷却循环水系统。

4. HORIBA EX-250型能谱仪。

5. 日立 E-1010型离子溅射仪。