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二手SEM扫描电子显微镜规格
项目 | 描述 | |
二次电子分辨率 | 3.0nm(加速电压=30kV,WD=5mm高真空模式) | |
7.0nm(加速电压=3kV,WD=5mm高真空模式) | ||
背散射电子分辨率 | 4.0nm(加速电压=30kV,WD=5mm低真空模式) | |
10.0nm(加速电压=5kV,WD=5mm高真空模式) | ||
放大倍率 | 5 - 300,000倍(底片倍率*5) | |
7 - 800,000倍(显示器显示倍率*6) | ||
加速电压 | 0.3 - 30kV | |
可变压力范围 | 6 - 650Pa | |
最大样品尺寸 | 直径 200mm | |
样品台 | X | 0 - 100mm |
Y | 0 - 50mm | |
Z | 5 - 65mm | |
R | 360° | |
T | -20° - 90° | |
可观察区域 | 直径 130mm (旋转并用) | |
最大样品高度 | 80mm(WD=10mm) | |
马达台 | 5轴标配 | |
电子光学系统 | 电子枪 | 预对中的钨灯丝 |
物镜光阑 | 4孔可动光阑 | |
探检测器 | 埃弗哈特 索恩利 二次电子探测器 | |
高灵敏度半导体背散射电子检测器 | ||
EDX分析 WD | 10mm(取出角35°) | |
图像显示 | 操作系统 | Windows® 7*7(如有更改,恕不另行通知) |
图像显示模式 | 全屏模式(1,280 × 960 像素) | |
小屏模式(800 × 600 像素) | ||
双图像显示(800 × 600 像素) | ||
四屏幕显示(640 × 480像素) | ||
信号混合模式 | ||
排气系统 | 操作 | 全自动排气 |
涡轮分子泵 | 210升/秒 × 1 | |
机械泵 | 135L/min(162L/min,60Hz)× 1 |
1.成像功能
SU3500日立扫描电子显微镜所具备的新型的模拟图像和改进后的电子光学系统以及图像显示算法使之能够在低加速电压下获得更高的分辨率。3KV电压时,SE图像可达7nm,5KV电压时,BSE图像可达10nm。开发的自动多级电子枪偏压机构能够在不降低电子束大小的情况下,在一定范围内的常用加速电压下增加发射电流。因此,此款产品与S-3400N相比,噪音得以大幅减少,成像更加清晰。
通过SU3500的开发并优化过的图像处理方法,现在可以很容易地在快速扫描模式下观察到低噪声的图像。高速自动聚焦控制(AFC)和自动亮度及对比度控制(ABCC)的增强,使您可以缩短*2SEM(扫描电子显微镜)的观察循环时间(TAT)
2.低真空功能操作的优异性
新设计的真空程序使真空范围可以达到6-650Pa,实时真空反馈允许在用户特定的压力设定下保持样品室的快速的真空稳定性。在低真空模式下直接观察更清晰。
SU3500日立扫描电子显微镜具有一个可变压力模式,允许对处于自然状态下的潮湿,油腻和非导电样品进行观察。由于正电离子是电子束撞击残余气体分子的结果,所以不需要进行传统的样品前处理,比如干燥和金属镀层。
新开发的超高灵敏度可变压力探测器得以进一步优化,特别是在可变压力模式下观察超薄表面的微观结构方面。通过同时观察从标准BSE探测器得到的组成图像,使得在多种应用下进行的各种各样的分析都成为可能。振木以铜矿物、树脂填料、水虱等图像为例真实的再现了SU3500的这项功能。