X射线荧光光谱法有如下特点：

　　分析的元素范围广，从4Be到92U均可测定；

　　荧光X射线谱线简单，相互干扰少，样品不必分离，分析方法比较简便；

　　分析浓度范围较宽,从常量到微量都可分析。重元素的检测限可达ppm量级，轻元素稍差；

　　分析样品不被破坏，分析快速，准确，便于自动化。

　　X射线荧光光谱仪具有重现性好，测量速度快，灵敏度高的特点。能分析B(5)～U(92)之间所有元素。样品可以是固体、粉末、熔融片，液体等，分析对象适用于炼钢、有色金属、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行业样品。无标半定量方法可以对各种形状样品定性分析，并能给出半定量结果，结果准确度对某些样品可以接近定量水平，分析时间短。薄膜分析软件FP-MULT1能作镀层分析，薄膜分析。测量样品的zui大尺寸要求为直径51mm，高40mm。