ZYGO ZEGAGE光学轮廓仪

ZeGage™光学轮廓仪是用于3D形貌定量测试，和精密机械表面粗糙度检测的理想非接触式检测工具。它工业化的设计提供快速，准确的测量方案，并且外形紧凑、性价比高，能够放在生产车间工作，而不需要振动隔离和特殊的隔离装置。同时交互式的控制软件MxTM提供了简单而精细的图形图像来帮助你的加工处理。如需获取更多的信息，了解Zegage系统的能力、功能和价值请继续往下看。

关键特点

      • 抗震性能，适合于生产车间的计量检测和过程控制。
      • 所有参数遵照ISO 25178标准，保证计量结果的可性度。
      • 非接触式计量技术不会引起任何待测件的损伤。
      • 计算机控制的4位物镜转台。
      • 基于区域的测量，对待测件如何放置不敏感。
      • 测量无需任何耗材。

生产车间里，正在使用的ZeGage光学轮廓仪

系统参数：

◆原理 非接触、三维白光扫描干涉仪

◆扫描装置: 长范围 Z 轴调节

◆物镜: 无限共轭干涉物镜：标准工作距离2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x；长工作距离：1x, 2x, 5x, 10x,详见物镜参数表

◆视场: 跟所选物镜有关

◆光源: 长寿命白光 LED，计算机控制光强

◆物镜座: 螺纹物镜座（标准）；

◆选件: 可快速装卸单物镜夹具（可选）；电控或手动 4 位物镜塔台（可选）。

◆辅助聚焦: 软件控制辅助聚焦

◆测量阵列: 1024×1024

◆样件观察: 软件集成交互式实时观察

◆Z 轴: 100mm 行程，主机头具有两种可选安装高度，以优化工作距离

◆样品台控制: USB 控制器，人体工程学设计的拇指控制按钮，可控制速度和聚焦模式切换

◆安全性: 系统集成紧急制动功能

◆样品台: 手动,俯仰倾斜±4°; 手动XY平移50x100mm; 集成T型槽板利于固定附件

◆计算机: 高性能DELL计算机, 宽屏1080P LCD，64位，Windows 7系统

◆软件: ZeMapsTM

◆尺寸（HWD）: 系统：156×127×76cm; 工作桌：74x127x76cm; ZeGage 主机：82x53x53cm

◆重量: ZeGage 主机：54Kg; 工作台：37Kg

性能：

◆纵向扫描范围：≤ 20 mm，(受限于物镜工作距离)

◆表面形貌重复性：＜3nm（根据 ISO/DIS 25178 604 部，附件 D）

◆光学分辨率（横向）：0.52um ～9.50um，与所选物镜有关

◆扫描速度： ≤ 23 um/秒

◆大数据点： 1,048,576

◆台阶测量： 准确度 ≤ 1%； 重复性≤ 0.1% @ 1σ

被测样品特性：

◆材料： 各种材料的表面：透明，不透明，镀膜，非镀膜，反射，弱反射

◆反射率：1-100%

环境要求：

◆温度： 15-30℃

◆温度变化率： ＜1.0°C/15分钟

◆湿度： 相对湿度 5%-95%，无凝结

◆隔振： 不需要

◆振动准则： VC-C 或有更好的推荐