产品特点：

1.      5寸彩色触摸屏操作界面，采用45°倾斜角度设计，符合人体工程学，操作简单友好。

2.      PLC自动监测控制工艺参数，参数可存储，手动、自动两种模式任意切换。

3.      舱门，流量计内凹式设计，防止不小心磕碰损坏，更大气美观。

4.      松下高精度数字真空压力表，实时检测显示舱体内真实真空度，提供论文真实数据。

5.      气体浮子流量计或质量流量计（MFC），可对多种气体精准控制。

6.      不锈钢或石英真空舱体可选，舱体管路采用耐腐蚀材料。

7.      进气端口，气体返填端口均配有高效过滤器，有效过滤空气中的污染颗粒及水分。

8.      真空泵配有油雾过滤器，可有效隔绝油气溢散，保护实验环境。

9.      使用成本低，无需进行特殊维护，日常使用中保持仪器清洁即可。

10.    具备优良的安全保护措施，射频模块温度异常升高时，自动关闭电源，保护样品，提高设备安全性和稳定性。

等离子清洗机应用领域，纳米材料学，半导体，微电子，光学，电子学，微流控生物学，石墨烯，再造医学等领域

技术参数