一想到半导体行业，大家想到的是机械生产，材料，电子电器，与污染两个字似乎也没有什么关系。但事实上，半导体生产过程中使用了大量有机物和无机物，包括许多有毒有害物质，对环境危害较为严重。如不通过尾气处理设备对废气尾气加以控制，将会产生较大的环境污染。
半导体尾气处理器
等离子水洗Local Scrubber设备，干式等
该设备主要去除半导体Dry Etch、ThinFilm、Diffusion等晶圆工艺制程中使用或产生的PFC温室气体和有毒有害气体，如：CF4、NF3、SF6、C2F6、CHF3、CH2F2等。
喷淋塔
对于含有酸性/碱性物质的废气 ，半导体厂封闭车间大都采用大型卧式洗涤塔进行废气处理。
