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瑞士VAT阀65.3 高真空控压摆阀
65.3 控压摆阀设定了下游压力控制和隔离的新标准。该系列控压摆阀专为半导体和显示器生产系统而设计，可在较宽的流导范围内提供高水平的可控性。65.3 控压摆阀配备带有集成位置控制的电机，可提供改进功能。
驱动器控制器具有更高的 32 位数据处理能力，可提供全新可控性。这意味着可以非常快速、精细和准确地控制钟摆阀板的各个位置，从而在极短的响应时间内实现非常精确的下游压力控制。阀门的预设运动序列可根据各种不断变化的工艺参数，对速度和路线进行调整。65.3 控压摆阀还可防止粒子释放。阀板经过优化的阻尼关闭运动可避免传统阀门常见的冲击和振动。65.3 控压摆阀的闭合顺畅无碍，几乎察觉不到关闭和打开。阀板提供非常精确的机械引导，可确保往复运动中的无接触气流控制，并在密封运动的所有区域内实现均匀的密封。
65.3 控压摆阀已经安装在数百个各种工艺条件下的要求苛刻的应用中，证明了其的可靠性和性能。65.3控压摆阀还是改造现有系统的理想之选。
65.3 控压摆阀的尺寸为 DN 100-350 mm (4" - 14")，采用铝或硬质阳极氧化铝制成，带有 ISO-F 和 JIS 标准法兰连接。可集成定制法兰，也可作为直接安装选项。标准密封材料为氟橡胶，并且可根据要求使用其他材料。
控制器可采用特殊控制算法（自适应、固定 PID、上游、软抽）。控制器上的各种标准端 口可通过个人计算机或连接到过程控制单 元 (PCU) 轻松访问。专用的控制性能分析仪 (CPA) 软件可轻松校准 65.3 控压摆阀并简化维护计划
特点：
快速精确的压力控制
无冲击操作：无粒子生成
提高工艺稳定性：可控制所有流量和压力
带有控制性能分析仪 (CPA) 的 32 位集成压力调节器 (IC2)
“即插即用”改造：无需校准或匹配
优势：
可靠性、精度和速度
维护周期延长
运行成本低
瑞士VAT阀65.3 高真空控压摆阀
尺寸 | DN 100 (4"), DN 160 (6"), DN 200 (8"), DN 250 (10"), DN 320 (12"), DN 350 (14") | ||
|---|---|---|---|
驱动器 | 带集成压力控制器的步进电机 | ||
阀体材料 | 铝：铝或硬质阳极氧化铝 | ||
馈通件 | 驱动器 密封圈 | 旋转馈通件 轴馈通件 | |
标准法兰 | ISO-F, JIS | ||
泄漏率阀体 | 铝 硬质阳极氧化铝 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 < 1 × 10-5 mbar ls-1 | |
泄漏率阀座 | 铝 硬质阳极氧化铝 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 < 1 × 10-4 mbar ls-1 | |
压力范围 | 铝 硬质阳极氧化铝 | 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (绝对压强) 1 × 10-6 mbar to 1.2 bar (绝对压强) | |
首维护前开关次数1) | 压力控制 关闭/打开 | 100 万次 20 万次 | |
温度 | 阀体 控制器 | ≤ 120 °C 最大 50℃（建议 ≤35℃） | |
材料 | 阀体、阀板 | EN AW-6061 (3.3211) | |
密封圈 | EN AW-6061 (3.3211), AISI 305 (1.4303), AISI 420C (1.3541), AISI 631 (1.4568) | ||
其他部件 | AISI 316L (1.4404, 1.4435), AISI 440 (1.4122), AISI 301 (1.4310), AISI 316 Ti (1.4571), AISI 304 (1.4301) | ||
密封 | 阀盖、阀板、 阀体馈通件 | 氟橡胶（含氟弹性体） | |
安装位置 | 任何位置 | ||
