Edwards爱德华涡旋真空泵 nXDS6i干式涡旋泵在其他涡旋泵的基础上进行优化，提高了抽速，获得了更高极限真空、更低功耗和噪声。借助气镇功能可以对可冷凝蒸汽(包括水、溶剂、稀酸和碱)进行抽真空。nXDS泵还采用了新的端面密封技术，显著延长了端面密封条更换的时间间隔。

Edwards爱德华涡旋真空泵 nXDS6i干式涡旋泵产品应用：

一般清洁泵送应用，电子扫描显微镜-SEM，射束线和高能物理，前级涡轮泵，覆层，低温学，脱气/硫化-油，环氧树脂，蒸馏/萃取/过滤，冷冻干燥，熔炉，凝胶体干燥，实验室工作台上真空，激光、气体回收和再循环，氦检漏仪，负载锁和传输腔，稀有气体再循环，稀有气体回收，冷冻制造，研发，旋转离心蒸发器，SEM/FIB（离子束维修），溶剂回收，表面科学仪器。

特性与优势：

真空外壳中不需要使用润滑剂，*密封可保证*的清洁和干燥真空，防止交叉污染；

无大气压到真空的轴封可使轴承*隔离，从而阻止制程攻击，轴承也能以更低温度运行，使用时间更长；

简单的单侧滚轴布置与创新的电机和轴承设计相结合，只需特殊工具，就能实现轻松的现场服务，因此可降低运行成本，尽可能延长正常运行时间；

改进了电机和传动效率，可降低功耗和运行成本；

先进的接口提供了各种传统、模拟和数字控制方法，可通过USB、RS232或RS485实现远程控制/监视。