详细介绍

LS|MERIT100半导体单片清洗设备专用流量计

韩国流量计，超声波流量计替代日本品牌产品 TKK 东富科TOFCO

◎ 高纯度药液与超纯粹等液体的高速精密流量测量

◎ 高品质高精密的半导体与产业用非接触式超声波测量仪使用

◎ 以RS-485通信(Modbus)监视多数流量

◎ 以电源分离屏蔽外部干扰及所有输入输出RFI/EMI (CE认证)

◎ 可以测量多种液体的流量(DI, 窒酸, 硫酸, 過酸化水素, 氢氟酸, 氨水等)

◎ 7 Segment 4Digit Display

◎ 外部输出功能 – Analog Out : 4 ~ 20mA(16bit) / Sol Valve控制

◎ AMP(6渠道) 一体化，空间最小化

◎ 以酸反洗井工程Particle最小化(选项)

LS|MERIT100半导体单片清洗设备专用流量计

◎ 瞬时及积算Flow Meter(ml/min)

◎ 通过超声波波形分析功能提供精密测量

◎ 对因药液及温度变化而产生的误差自动补正

◎ 以Serial Comm. 提供各样的应用技术及维护软件道具

LS|MERIT100半导体单片清洗设备专用流量计

LS|MERIT100半导体单片清洗设备专用流量计

◎ 高品质,高精密度的半导体及产业用非接触式流量计

◎ 可根据通信 RS-485(Modbus) 进行多流量监控

◎ 根据电源分离的外部电源 Noise 和输入/输出 RFI/EMC 屏蔽(CE认证)

◎ 内置外部输出功能 - Analog Out : 4~20mA (16bit)- Sol Valve 控制用 Output

◎ DI,硝酸,硫酸,过氧化氢,氢氟酸,氨水,SC-1等可测定多种药液

◎ 6通道AMP一体化构成, 安装空间最小化(1/4 inch)

◎ 瞬时与累计 Flow Meter [ml/min]

◎ 搭载超声波波形分析 Scope 功能进行精密流量测量

◎ 通过串行通信提供多种应用技术和 Maintenance Tool

LS|MERIT100半导体单片清洗设备专用流量计

产品规格

LS|MERIT100半导体单片清洗设备专用流量计

LS|MERIT100半导体单片清洗设备专用流量计

类别	韩国LS M100-xxxx	日本TOFCO USFXXX	SFC-XXX 日本TKK	备注
英寸	1/4, 3/8, 1/2, 3/4inch	1/4, 3/8, 1/2, 3/4inch	1/4, 3/8, 1/2, 3/4inch
尺寸	119.6 x 20.8 x 152.6 mm	138 x 40 x 105 mm	134 x 20 x 100 mm	设置尺寸较小，安装尺寸最小化
材料/防水	PFA / IP65 (Detector)	PFA	PFA
电源	24VDC ±10%	24VDC ±10%	24VDC ±10%
精度	20mL~300mL : ±3mL 300mL~2500mL : ±1%	50mL~300mL : ±3mL 300mL~3000mL : ±1%	50mL~800mL : ±8mL 800mL~2000mL: ±1%	小流量更为精准
流体温度	10 ~ 90℃ （Option ~150℃）	10 ~ 90℃ (Option ~180℃)	10~ 180℃	可以在高温使用
响应时间	1.5 sec	-	-	反应速度快
可测范围(DIW)	20 ~ 2500mL/min	50 ~ 3000mL/min	50~ 2500mL/min	***流量值最小
模拟输出	4-20 mA	4-20 mA	4-20 mA
操作模式	Analog output mode RS-485 Isolated	Analog output mode RS-485 Non-isolated	Analog output mode RS-485 Non-isolated	绝缘类型适用 (5 kV rms isolated)
频道数	2/6Channel	2Channel	1Channel