晶圆加热台
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PH201K-06晶圆加热台

参考价: 订货量:
￥ 50000 1台
￥ 49500 5台

具体成交价以合同协议为准
2024-07-01 17:30:51
304
属性：
产地类别:进口；应用领域:环保,化工,能源,电子,制药；
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产品属性
产地类别
进口
应用领域
环保,化工,能源,电子,制药
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易购安（北京）科技有限公司

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产品简介

● 对晶片、玻璃基板等极薄的工件进行均匀加热。
● 工件可以通过真空吸附固定。
● 可通过附带的温度调节器进行精密温度控制。晶圆加热台

详细介绍

特点


● 对晶片、玻璃基板等极薄的工件进行均匀加热。
● 工件可以通过真空吸附固定。
● 可通过附带的温度调节器进行精密温度控制。

规格


● 板尺寸:Φ6英寸晶圆加热台  

● 表面处理:镀金

● <热卡盘部分>晶圆加热台  ● ▼可卡盘尺寸:Φ2~6英寸
● ▼温度控制范围:室温~200°C
● ▼温度精度:±1.5%
● ▼电容量:900 W
● ▼尺寸:200×234×54 mm
● ▼重量:约3 kg
● <温度调节器>
● ▼电源:AC 100 V 50/60 Hz
● ▼尺寸:98×156×101 mm
● ▼重量:约1.3 kg
● ※另外需要真空泵 (推荐泵例:1 -9197-02隔膜型干式真空泵DAP -12 S) 。

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