BPG400 大气压至超高真空真空计

INFICON贝阿德-阿尔珀特皮拉尼（Pirani）BPG400型复合真空计将两种真空计的功能融合到一个紧凑的装置中，测量范围从5×10-10 毫巴至大气压（3.8×10-10 托至大气压）。多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。选择BPG400真空计，价格经济，且可重复测量基准压力。
益处

测量范围非常广，从 5×10-10 毫巴至大气压（3.8×10-10 托至大气压）

10-8 … 10-2 毫巴过程压力范围内 5% 的优良可重复性

皮拉尼联锁保护贝阿德-阿尔珀特系统在高压操作下单丝过早烧毁和过度污染

使用寿命长的氧化钇铱丝

备有可选的图形显示屏和现场总线接口

高真空皮拉尼自动调节，减少操作员干预

RoHS 合规

低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制

典型应用

对半导体过程和传输腔室的压力测量

工业镀膜

低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制
类型 BPG400

测量范围（空气、O2、CO、N2）      5×10-10 … 1000

精度

10-8 … 10-2 毫巴    % of reading    ±15

可重复性

10-8 … 10-2 毫巴    % of reading    5

除气 (1)

p < 7.2 × 10-6 mbar    electron bombardment, max. 3 min

压力，zui大   bar (absolute)  2

温度

运行（环境） °C 0 … +50

贮存 °C -20 … +70

在法兰处烘烤，有延伸件    °C 150

在法兰处烘烤，无延伸件    °C 80

移除烘烤电子设备 °C 150

电源电压     +20 … +28

输出信号模拟

输出信号 V   0 … +10

测量范围 V   +0.774 … +10

电压与压强   volts per decade    0.75

错误信号 V   0.3 / 0.5

zui小负载电阻 kΩ  10

接口（数字）(2)      RS232C

电气连接     D-Sub, 15-pin, male

电缆长度，zui大 (3)   m (ft.) 100 (330)

暴露于真空的材料     Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass

内部容积 KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)

重量 KF / CF g   285 / 550

保护等级     IP30

Profibus DP

波特率      9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500

地址    2 switches (address 00 - 127) or network programmable

数字功能     read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information

模拟功能     0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B

设定点继电器： 设定点数量     2

设定点继电器： 范围  mbar    1×10-9 … 100

设定点继电器： 继电器触点     n.o., potential free

设定点继电器： 滞后  % of reading    10

设定点继电器： 触点额定值     60

Profibus DP 连接器       D-Sub, 9-pin, female

BPG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器        D-Sub, 15-pin, male

DeviceNet™ 

协议    DeviceNet™, group 2 slave only

数据率开关   kBaud   125, 250, 500 or network programmable

电缆长度 125 kbps    m (ft.) 500 (1650)

电缆长度 250 kbps    m (ft.) 250 (825)

电缆长度 500 kbps    m (ft.) 100 (330)

MAC ID      2 switches (address 00 - 63) or network programmable

数字功能     read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information

模拟功能     0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B

技术规格     DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"

设备类型     ''CG'' for combination gauge

I / O 从属传讯       polling only

设定点继电器： 设定点数量     2

设定点继电器： 范围  mbar    1×10-9 … 100

设定点继电器： 继电器触点     n.o., potential free

设定点继电器： 滞后  % of reading    10

设定点继电器： 触点额定值     60

DeviceNet™ 电源电压      +11 … +25

真空计电源电压       +20 … +28

DeviceNet™ 连接器        Microstyle, 5-pin

BPG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器        D-Sub, 15-pin, male

1) 除气期间降低精度

2) 同时使用 RS232C 或 VGC40x 控制器系列，不允许使用现场总线

3) 适用于 RS232C 运行 <30m
353-500 BPG400 规管

353-500-11  BPG400 BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF

353-500-I0  BPG400规管

353-502-A   BPG400规管

354-498 Spare electronic BPG400 without Display

354-499 Spare electronic BPG400 with Display

353-501 BPG400 规管

353-502 BPG400 规管

353-503 BPG400 BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R

353-505 复合真空规

353-506 BPG400-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R

353-507 BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN25ISO-KF

353-508 BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R