DS300简介

      DS300压力式气体质量流量控制器是基于压力检测原理的质量流量控制器，流量控制采用压电阀控制技术。产品具有零点漂移小，控制流量稳定、可靠，响应时间短、精度高的优点，此外还具有压力不敏感功能，能够适用较大的气源压力波动。产品采用全金属密封，所有与气体接触的零件都经过EP处理，主要应用于半导体行业，如刻蚀设备上。

       DS300外观图

电源方式

      DS300压力式气体质量流量控制器（MFC）产品采用开关电源方式，可支持很宽的双电源（±8～±16V DC）或单电源（+14～+28V DC），客户可以根据需要自行选择。

电气接头

        DS300压力式MFC产品的电气接头有DeviceNet接头和D型阳接头（9针或15针），客户可以根据需要自行选择。

    图1  9针D型阳接头连接图  

       图2  15针D型阳接头连接图

通讯协议

      DS300压力式MFC产品支持RS485串行通讯与DeviceNet通讯协议，客户可以根据需要自行选择，其中RS485串行通讯可以用RS485电缆线和相应的适配器与电脑进行连接。

             图3  DeviceNet连接图    

       图4  RS485连接图