CS330质量流量控制器

CS330质量流量控制器是七星华创流量计新研发的数字型产品，*高流量可达200SLM氮气，并可实现数字/模拟控制模式；产品采用了新型全金属密封结构形式、大流量、低压损电磁调节阀、以及*的人工智能机器人金属表面抛光技术，可用于测量各种气体的流量，包括惰性气体、强腐蚀性气体、易燃易爆等危险性气体。产品具备精度高、响应速度快、低零漂、低温漂性能等优点，并支持DeviceNet，RS485通讯协议。 参考价面议

CS200H质量流量控制器

CS200H质量流量控制器是七星流量计生产的数字型高温产品，其电气和机械部分采用分体式的设计，通过高温线缆连接，可以实现在高温环境下工作，能够满足复杂多变的半导体测量需求。 参考价面议

CS300气体质量流量控制器

CS300气体质量流量控制器是七星流量计专门为大规模集成电路装备设计的产品，该产品在原有CS200气体质量流上，采用了基于DF的压力信号补小偿算法，全量控制器的基础新的金属表面处理工艺，产品各项技术指标均严格按照SEM标准，支持Ⅵ型，C型GS气路系统。 参考价面议

气路系统

气路系统 气路盘是七星流量计开发的气路输送系统的解决方案，该产品通过对气路原理图的设计，加工和测试，以隔膜阀，调压阀，压力传感器，过滤器，MFC等零部件实现对多种工艺气体的压力调节，纯度过滤，流量控制等功能，目前市场上常用的为传统VCR型气路盘和气体输送集成控制系统（Integrated Gas System），即IGS气路盘，这两种气路盘业务七星流量计都有能力承接。 参考价面议

直驱马达式磁流体密封传动装置

直驱马达式磁流体密封传动装置
我们可以为您提供集成无框力矩电机的磁流体，该磁流体还一起封装了高精度光栅编码器，能够实现转轴的匀速转动，保证转轴超高的重复精度和精度。该磁流体在满足高精度前提下还节省安装空间，解决了由于系统多次组装造成的累积误差。 参考价面议

空心轴法兰安装磁流体装置

空心轴法兰安装磁流体装置：
空心轴密封传动装置有一个卡箍，它通过O型圈把用户轴和密封装置的转轴连在一起。 空心轴密封传动装置运用的典型例子就是溅射设备，其中例如电子，中性子或离子的注入用旋转单元、旋转物架以及X射线和光学机器。 空心轴密封传动装置有通孔型、法兰型等，也可以按照用户的要求进行特殊的设计或不带卡箍。 参考价面议

空心轴通孔安装磁流体装置

空心轴通孔安装磁流体装置有一个卡箍，它通过O型圈把用户轴和密封装置的转轴连在一起。空心轴密封传动装置运用的典型例子就是溅射设备，其中例如电子，中性子或离子的注入用旋转单元、旋转物架以及X射线和光学机器。空心轴密封传动装置有通孔型、法兰型等，也可以按照用户的要求进行特殊的设计或不带卡箍。 参考价面议

实心轴法兰安装磁流体装置

实心轴法兰安装磁流体装置：我们有多种的实心轴传动装置，例如:微型、通孔型、法兰型、重负载型，它们适用于各种场合。除小径的转轴外，转轴的动力装配部位和用户安装部位的形状有标准的键槽以外，还能根据用户的要求，设计、制造多种配合形式，如扁平面，螺纹连接、孔连接等。 参考价面议

实心轴中法兰安装磁流体装置

实心轴中法兰安装磁流体装置：我们有多种的实心轴传动装置，例如:微型、通孔型、法兰型、重负载型，它们适用于各种场合。除小径的转轴外，转轴的动力装配部位和用户安装部位的形状有标准的键槽以外，还能根据用户的要求，设计、制造多种配合形式，如扁平面，螺纹连接、孔连接等。 参考价面议

实心轴螺母安装磁流体装置

实心轴螺母安装磁流体装置
我们有多种的实心轴传动装置，例如:微型、通孔型、法兰型、重负载型，它们适用于各种场合。 参考价面议

IGS金属隔膜阀

IGS金属隔膜阀
应用于IGS的高纯度金属隔膜阀，采用二次熔炼的SUS316L作为阀体材质，有多种接口（C-seal和W-seal）可供选择。 参考价面议

PC100压力控制器

PC100压力控制器是七星流量计生产的数字型压力控制产品，为气体压力的控制、测量提供了高准确度及高可靠性。该型产品可同时支持数字信号和0～5V模拟信号，可以使用单电源（+15～+24 VDC）供电。 参考价面议