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D07-19FM气体质量流量计技术参数:
产品型号 | D07-19FM |
产品类型 | 普通型 |
流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm |
产品精度 | ±1%F.S.(20slm 30slm ±2%F.S.) |
重复精度 | ±0.2% FS |
线性 | ±0.5%F.S.(20slm 30slm ±2%F.S.) |
响应时间 | ≤4sec |
工作温度范围 | (5~45)°C |
耐压 | 10MPa |
密封材料 | 氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene |
输入输出信号 | (1~5)VDC,(4~20)mA |
电源 | 24V |
阀类型 | 无阀 |
温度系数 | - 无 - |
零点飘移指标 | - 无 - |
电气连接 | D sub 15 pins Male |
工作压差范围 | <0.02 MPa |
漏率 | 1×10-8atm•cc / sec He(1×10-9 Pa•m3 / sec He) |
标准接头形式 | 双卡套1/2”,双卡套1/4”(满量程≤60slm),双卡套Φ12,双卡套Φ6(满量程≤60slm),双卡套Φ8(满量程≤200slm),双卡套Φ10,双卡套3/8” |
表面化学成分 | - 无 - |
表面粗糙度 | - 无 - |
抗电磁干扰 | CE |
重量 | 1Kg |