氨气流量控制器

D07-11C氨气流量控制器

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2019-07-25 13:21:07
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北京华丞电子有限公司

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产品简介

D07-11C气体质量流量控制器 氨气流量控制器用途:质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

详细介绍

D07-11C气体质量流量控制器 氨气流量控制器产品简介:


★高耐压性
★橡胶密封、模拟电路的MFC
★采用DB15型电插头,标准机械接头
★CE认证,兼容

D07-11C气体质量流量控制器 氨气流量控制器用途:

 
质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

D07-11C气体质量流量控制器 
技术参数:


产品型号

D07-11C

产品类型

高耐压型,抗电磁干扰

流量量程

5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm

产品精度

±1%F.S.

重复精度

±0.2% FS

线性

±0.5% F.S.

响应时间

≤10sec

工作温度范围

(5~45)°C

耐压

10MPa

密封材料

氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon

输入输出信号

(0~5)VDC

电源

±15V

阀类型

- 无 -

温度系数

- 无 -

零点飘移指标

- 无 -

电气连接

D sub 15 pins Male

工作压差范围

(0.2~0.6) MPa (10slm<F.S.),(0.2~0.8) MPa (F.S.≤10slm)

漏率

1×10-10atm•cc / sec He(1×10-11 Pa•m3 / sec He)

标准接头形式

双卡套1/8”(满量程>10slm不适用),双卡套Φ3(满量程>10slm不适用),双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ10,双卡套3/8”,VCR1/4”,双卡套1/4”

表面化学成分

- 无 -

表面粗糙度

- 无 -

抗电磁干扰

CE

重量

1Kg

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