型号

PC100

压力类型

绝压

控制压力的满量程

1000Torr、1200mbar

耐压

3MPa

阀口满量程流量

2、3、5SLM

控制方式

上游

温度系数

Zero：±0.02% of F.S./℃；Span：±0.04% of Reading/℃

压力分辨率

0.1 Torr

压力控制精度

±1.0% of Reading(≥10%FS); ±0.2% of F.S. (<10%FS)

响应时间

< 1.0 S

工作温度范围

10 ℃ ～ 50 ℃

机械接口

双卡套 1/4" 、 VCR 1/4" 阳接头

阀类型

常闭

外漏

< 1 x 10-10(scc/sec He)

内漏

< 1.0% of 阀口满量程流量 (阀关闭时，进气端为25 psig，出气端为大气)

供电电源

+15 ～ +24 VDC(< 4 watts)

电气接口

DB-9针