原装Vat Vakuumventile板阀

Vat Vakuumventile是的高性能真空阀、多阀组件、真空模块和金属隔膜波纹管的开发商和生产商。Vat Vakuumventile的产品和服务主要用于半导体、显示器和太阳能电池板制造，以及在特殊真空条件下运行的各种工业和研究应用。

Vat真空阀适用于高真空、超高真空和超高真空的所有真空水平。Vat真空阀是在洁净室条件下制造的，并根据不同的应用进行定制。除了高纯度外，Vat真空阀还具有高精度的功能和耐用性，即使在的工艺条件下也能保持良好的性能。

一、主要产品

Vat拥有全面的真空控制阀、真空隔离阀、真空摆阀、真空滑阀和全金属真空阀，为各种应用提供最佳解决方案。

1.真空控制阀

Vat真空控制阀设计坚固，特别适用于气流中可能存在颗粒的恶劣下游工艺。即使在颗粒负荷和沉积物较高的情况下，控制阀也能保持正常工作。Vat真空控制阀具有出色的防颗粒特性，关闭板的接触运动和最佳阻尼开闭运动消除了传统阀门常见的冲击和振动。Vat真空控制阀采用各种锁定技术，即使在压缩空气或电源出现故障的情况下，仍能安全地保持真空。

2.真空隔离阀

真空隔离阀是一种用于将真空系统的一部分与系统的其余部分隔离的真空阀，防止气体或空气进入或离开隔离区域，从而保持该区域的真空度。Vat真空隔离阀通常由铝或不锈钢制成，并带有弹性体密封，也有由金属制成的，可承受高温、辐射或侵蚀性介质等恶劣的操作条件。Vat真空隔离阀即使在极快的开启和关闭速度下，也几乎不会产生振动或摩擦。

3.真空摆阀

真空摆阀是特殊类别的绝缘控制阀，其中真空板通过旋转运动移出开口横截面。由于具有非常精细的传导控制功能，因此是工艺室下游压力控制的标准解决方案。Vat真空摆阀设计紧凑，震动小，开启和关闭轻柔，避免过程中产生颗粒。

原装Vat Vakuumventile板阀