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UR-Z714M-Bhoriba数字式压力控制器UR-Z714 IGS 14W3
UR-Z714M-B是horiba数字式压力控制器UR-Z714 IGS 14W3中的畅销款，控制该压力控制器前端的压力。
控制压力范围20-950KPa，
Devicenet数字通讯
接口IGS IGS 14W3
消除后端压力波动对前端腔体压力的影响（入口控制型） 参考价面议 -
UR-Z734M-Bhoriba数字式压力控制器UR-Z734
UR-Z734M-B是horiba数字式压力控制器UR-Z734中的畅销款，控制该压力控制器前端的压力。
控制压力范围0.02M-Bar-9.5M-Bar，
Devicenet数字通讯
消除后端压力波动对前端腔体压力的影响（入口控制型） 参考价面议 -
UR-Z724M-Bhoriba数字式压力控制器UR-Z724
UR-Z724M-B是horiba数字式压力控制器UR-Z724中的畅销款，控制该压力控制器前端的压力。
控制压力范围0.02M-Bar-9.5M-Bar，
Devicenet数字通讯
消除后端压力波动对前端腔体压力的影响（入口控制型） 参考价面议 -
UR-Z714M-Bhoriba数字式压力控制器UR-Z714
UR-Z714M-B是horiba数字式压力控制器UR-Z714中的畅销款，控制该压力控制器前端的压力。
控制压力范围0.02M-Bar-9.5M-Bar，
Devicenet数字通讯
消除后端压力波动对前端腔体压力的影响（入口控制型） 参考价面议 -
UR-Z712M-Bhoriba数字式压力控制器UR-Z712
UR-Z712M-B是horiba数字式压力控制器UR-Z712中的畅销款，控制该压力控制器前端的压力。
控制压力范围0.02M-Bar-9.5M-Bar， 数字通讯
消除后端压力波动对前端腔体压力的影响（入口控制型） 参考价面议 -
UR-Z732M-Bhoriba数字式压力控制器UR-Z732MB
UR-Z732M-B控制该压力控制器前端的压力。
horiba数字式压力控制器UR-Z732MB
控制压力范围10-500KPa，
数字通讯
消除后端压力变动对前端腔体压力的影响（入口控制型） 参考价面议 -
UR-Z722M-Bhoriba数字式压力控制器UR-Z700
UR-Z722M-B是horiba数字式压力控制器UR-Z700中的畅销款，控制该压力控制器前端的压力。
控制压力范围0.02M-Bar-9.5M-Bar， 数字通讯
消除大流量气路切换引起的串扰影响（出口控制型） 参考价面议 -
SEC-Z517MGXhoriba IGS气体质量流量计Z517/Z527MGX
horiba IGS气体质量流量计Z517/Z527MGX
IGS接口，EtherCat通讯
小量程0-2sccm，大量程0-50SLM
高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.)
模拟信号输出：0-5VDC，可选数字通讯RS485 F-Net协议 参考价面议 -
SEC-Z552MGXhoriba高精度气体质量流量计Z552/Z562MGX
horiba高精度气体质量流量计Z552/Z562MGX
小量程0-100SLM，大量程0-500SLM
高精度：2.0% S.P. (50-100% F.S.); 1% F.S. (≤50% F.S.)
模拟信号输出：0-5VDC，可选数字通讯RS485 F-Net协议 参考价面议 -
SEC-Z522MGXhoriba高精度气体质量流量计Z522/Z532/Z542
horiba高精度气体质量流量计Z522/Z532/Z542
小量程0-20sccm，大量程0-200SLM
高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.)
模拟信号输出：0-5VDC，可选数字通讯RS485 F-Net协议 参考价面议 -
SEC-Z514MGXhoriba高精度气体质量流量计Z514/Z524MGX
horiba高精度气体质量流量计Z524/Z534/SEC-Z514
小量程0-2sccm，大量程0-50SLM
高精度：1.0% S.P. (25-100% F.S.); 0.25% F.S. (≤25% F.S.)
数字通讯：DeviceNet 参考价面议 -
SEC-Z512MGXhoriba高精度气体质量流量计Z512
horiba高精度气体质量流量计Z512
小量程0-2sccm，大量程0-50SLM
高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.)
模拟信号输出：0-5VDC，可选数字通讯RS485 F-Net协议 参考价面议