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1400℃三温区真空气氛管式炉以硅碳棒为发热元件；双层风冷结构；高纯氧化铝纤维真空吸附一次成型；高密度硅碳棒真空挤压成型；刚玉管外径为60、80mm。三个温区分别由三个独立的温控系统来控制且都为PID30段程序化控温。可通过调节三个温区的控温程序使炉管内温场形成一温度梯度，炉管两端装有不锈钢法兰，不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表，抽真空时真空度能够达到10-3 Pa,此系列真空气氛管式炉可以用CVD或PVD方法来生长纳米材料和制作各种薄膜。
主要用途：
三温区真空气氛管式炉是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品. ，广泛用于电子陶瓷产品的预烧、烧结、镀膜、高温热解低温沉积（CVD）工艺等。
| 产品名称 | 1400℃三温区真空气氛管式炉 |
| 产品型号 | HY1400℃ |
| 工作温度 | 1300℃ |
| 高温度 | 1400℃ |
| 炉管尺寸 | Φ60mmX1000mm |
| 样品规格 | 外型尺寸：860×470×720mm |
| 温控系统 | 温控方式：三个温控系统单独控制，都是采用PID方式调节30段可编程自动控制； |
| 温控保护 | 具有超温及断偶报警功能 |
| 加热速率 | 0~20 ℃ / 分 |
| 温区长度 | 每个加热区200 mm包括20mm间距，总温区长度: 600 mm |
| 真空密封系统 | 仪器标配中有一套不锈钢真空密封法兰，出气和进气端都安装有不锈钢截止阀，真空度：10-2 torr （用机械泵 ）；10-5 torr（用分子泵 ） |
| 加热元件 | 1500ºC级硅碳棒 |
| 工作电压 | AC 220V 单项 50 Hz |
| 大功率 | 10KW |
| 气 密 性 | 4.03×10-3Pa |
| 测温元件 | S型单铂铑热电偶 |
| 净 重 | 160 Kg |
| 炉 管 | 高纯度刚玉管 |
| 炉壳温度 | ≤45℃ |
| 提供相关配件 | 真空泵、真空法兰、真空表、塞砖 |
