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多工位多温区真空管式炉结构及工作原理:
该炉体分为两部分,上部结构中炉管带炉膛可翻转,下部为电控部分;加热元件采用硅碳棒,炉管可采用石英管或者不锈钢炉管,*的连接方式,可抽真空,通入多路不同的气氛进行保护。
多工位管式炉产品系周期作业,供企业实验室,大专院校,科研院所等单位选用,设备为用户提供具体真空、可控气氛及高温的实验环境,应用在半导体,纳米技术,碳纤维等新材料新工艺领域薄膜沉积炉、气相沉积炉、纳米材料炉。
多工位多温区真空管式炉主要特点:
炉体可作0-180度旋转,满足客户不同实验需求,可做横向、垂直、各种角度倾斜等多个工位实验。
不锈钢带阀真空法兰和石英管。
可在真空或气氛下不同角度运行
准备工作:
1、设计升降温曲线,升温速率不得高于10℃/分钟,降温速率应低于15℃/分钟。
2、清扫环境。
3、每周开始使用管式炉时,检查机械泵油线处于标线以上,拆除两端盖,用吸尘器清洁刚玉炉管。
4、将样品舟推入刚与管炉膛中部(恒温长度10cm)。
5、塞上两块隔热炉塞,使第二个炉塞的末端与炉体侧面平齐。
6、装上气炉法兰,确认密封垫落入槽中。