型号

WI-004^*1*2*3

参考距离

18 mm

测量范围

Z

1.4 mm(标准模式)，0.7 mm(高速模式)

XY

4 × 4 mm

zui小检测区域

15 × 15 µm

重复精度(段差)

0.1 µm^*4

直线性(段差)

±2.8 µm(±0.2% of F.S.，F.S.=1.4 mm，+20 至+30℃)^*5

测量用光源

类型

红外线SLD

中心波长

830 nm

激光分类(IEC60825-1, GB7247.1)

3R 类

输出

3.6 mW

引导用光源

类型

红色半导体激光

波长

660 nm

激光分类(IEC60825-1, GB7247.1)

1 类

输出

0.15 mW

采样周期

内部触发

133 ms(高速模式)，266 ms(标准模式)

外部触发

zui快 266 ms(高速模式)，zui快 532 ms(标准模式)^*6

环境抗耐性

环境光照

白炽灯/荧光灯：5,000 lux 以下

环境温度

0 至 +35 °C

相对湿度

20 至 85 % RH (无凝结)

重量

约 3000 g

KEYENCE WI-004 干涉式同轴 3D 位移测量仪测量头、KEYENCE WI-004 干涉式同轴 3D 位移测量仪测量头、