电子扫描显微镜

技术参数：

*1、光学系统：无限远色差校正光学系统；

2、放大倍数：40X—1000X；

*3、目镜：大视场高眼点目镜10X，

4、镜筒组：三目镜筒，30度倾斜，光瞳间距50—75mm，头部为绞链式三目头；分光比0：100或80：20

5、电子扫描显微镜：粗微动同轴式调焦且低手位操作, 行程25mm，微调精度2um，设有防下滑装置及粗调松紧装置，配有调焦上限位装置。电动调焦装置

*6、平台组：电动机械移动平台，进口三角导轨，电动接口，平台尺寸：190x140mm，范围：55X78mm，双片夹结构，

*7、柯拉照明系统： 6V/30W进口灯泡，超长寿命；

8、PLAN4X/0.1，    PLAN10X/0.25，PLAN20X/0.40(弹簧)， PLAN40X/0.66(弹簧)、        PLAN100X/1.25(弹簧，油)；

9、物镜转换器：内倾式五孔滚珠轴承，带防霉装置；

10、聚光镜组：升降式阿贝聚光镜， NA= 1.25，带刻度的可变光栏；

11、可选配： （1）荧光装置   （2）相差装置           （3） 暗场和偏光装置

12.可选配数码摄像系统：

 在扫描电镜应用中，很多集中在半导体器件和集成电路方面，它可以很详细地检查器件工作时局部表面电压变化的实际情况，这是因为这种变化会带来象的反差的变化。焊接开裂和腐蚀表面的细节或相互关系可以很容易地观察到。利用束感生电流，可以观测半导体P—N结内部缺陷。