摘要规格
1）一般各种规格
　-电源AC100V±5％，50/60赫兹，200VA 
　-空气源5公斤/厘米2〜9公斤/ cm 2的清洁空气的东西
　，在室温下操作：20℃±5℃湿度：80％RH下面
2）精度保证
　型槽宽度.........±1μm以下
　，槽宽度的并行......1μm以下
　，槽宽垂直......1μm以下
　，槽分割角度......±30弧秒
　型槽方向同心......± 1角分
　字形图......（横向放大率×20，×50选择）
　　　　　　　　　　 （纵倍率×200，×500选择）
　　　　　　　　　　 （逆流同心度的补偿是否选择）

摘要规格
1）一般各种规格
　-电源AC100V 50/60赫兹500VA 
　-空气源4公斤/厘米2或更多的压缩空气
　中，操作一般测量环境
2）循环时间
　2.6秒/数
3）精度
　-重复性2微米
4）通过/失败判定设定单位
　·zui小单位1μm5 
）显示
　·计算结果表显示，zui小单位1μm6 
）数据输出
　·RS232C兼容
7）良品数量，缺陷数（整体，项目）

概要规格
1）AC 100 V 10 A以下
2）测试时间2.5 s / 1判断输出
3）分辨率\\ 512×480像素
4）IC卡可以处理各种产品。