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EQUINOX
在 春分 为您提供轻松地控制您的等离子室内的真空度。接通泵,*而已。保存设定点压力后无需干预。在1分钟内,压力将从大气中稳定到大约500 mTorr。可以根据设备调整稳定性,并将压力保持在+/- 50 mTorr。Equinox可以与多种气体一起使用,也可以直接与空气一起使用,从而实现高效,快速的PDMS等离子键合。
EQUINOX
Equinox使您可以轻松控制血浆室内的真空度。的确,与手动真空计的圈时间可能长达数分钟相反,Equinox能够稳定,快速地设置正确的压力。更重要的是,由于它的内部存储器,Equinox会提醒您两个常规压力设置,这对于您的常规过程而言,仅设置一次压力即可。
春分可以与多种气体一起使用,也可以直接与空气一起使用,从而可以进行高效,快速的PDMS等离子体键合。当使用环境空气时,必须添加一个5µm的过滤器,以确保空气清洁。
借助电动阀和压力表控制器可以自动设置压力。
精度取决于泵的吸力,因此也取决于每次安装,但是在安装期间可以根据不同情况调整春分点,以提供大约50mTorr的精确设置。
Equinox收集了非常坚固的工具,几乎不需要维护。得益于可处理2.5亿次循环的电动阀,压力控制得到保证,因此使用寿命长。如果您使用周围的空气作为气体,则需要进行的维护操作就是定期更换空气过滤器。
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注:杨清辰发布。
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