多组分密度计的特点

3 个组件中的 2 个组件密度计侧可以实时进行

• 配备模拟DC 4至20mA（2系统）和数字RS232C作为标准设备

• 标配测量误差输出和报警输出

• 标配自诊断功能和错误信息显示

• 紧凑轻便的单元式变送器可直接安装在线路上

• 由于使用 PFA 的接液部件的质量和小输出设计，对化学溶液没有影响。

优点

• 可进行高精度连续测量

• 免维护，无需定期调整和校准

• 安装方便，安装过程中无需进行各种调整

• 通过实时输出轻松反馈过程

用

• CMP工艺中的CMP浆料和氧化剂浓度控制等。

• 清洗过程中清洗液浓度控制（HF+HNO3、HF+H2SiF6等）

• 蚀刻工艺中蚀刻液浓度控制（TMAH+抗蚀剂、TMAH+Si等）