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日本motoyama薄膜晶体生产设备LPE炉
■设备概述
这是一种LPE（液体，相位，外延）薄膜晶体制造设备，拥有100多项日本交付记录。 它由高精度立式管式炉，旋转升降驱动轴和具有*温度调节精度的控制单元组成，可实现高效的薄膜晶体生产。
薄膜晶体生产
●特长
○优异的浸泡特性
○高精度样品轴旋转升降驱动机构
○可以添加到现有的熔炉中（有限制）
●选项
○惰性气体导入机构
○电信号润湿接点
○排气罩
‥
○根据实际制造过程进行计算机自动操作控制（也可以中断手动操作）
通过事先输入过程详细信息，目的地，移动速度，旋转状态和旋转速度将自动以值执行。
日本motoyama薄膜晶体生产设备LPE炉
| LPE 薄膜結晶製造装置 仕様 | |
| ヒータ容量 | 単相 200V 2.3kW×3ゾーン |
| 加熱室寸法 径×高さ mm | φ280×H650 mm |
| 常用温度 | 800℃～900℃ |
| gao温度 | 1200℃ |
| 温度分布 | ±2℃ (空炉安定時 φ100×H200mmの空間 at850℃） |
| 温度変動幅 | ±0.2℃ (空炉安定時 φ100×H200mmの空間 at850℃） |
| 発熱体 | SSSヒータ |
| 炉心管 | φ220×φ205×L800mm |
| LPE炉 駆動部(試料軸) 仕様 | |
| 昇降速度 | 20～300mm/min |
| 停止精度 | ±1mm以内 |
| 回転方法 | 正転/逆転 |
| 回転速度 | 20～300rpm (ソフトスタート付) |
| 回転数変動精度 | ±1%FS以内 |
