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日本进口shinkuu小型磁控管溅射装置
日本进口shinkuu小型磁控管溅射装置
一键自动镀膜。没有麻烦的操作。高性价比机器。它是MSP-1S的弟弟。
使用小目标（φ30mm）。实现低运行成本。Au 靶作为标准包含在内。展示其在桌面 SEM 预处理方面的能力。
可选的目标Ag膜具有优异的光泽度，便于透明材料表面的光学显微镜观察。
概述
本设备是一种带磁控靶的金属镀膜设备。当用光学显微镜（Ag 靶）观察透明材料的表面或用电子显微镜（Au/Ag 靶）在少量样品上涂导电膜时使用。
一键自动镀膜。没有麻烦的操作。高性价比机器。它是MSP-1S的弟弟。
使用小目标（φ30mm）。实现低运行成本。Au 靶作为标准包含在内。展示其在桌面 SEM 预处理方面的能力。
可选的目标Ag膜具有优异的光泽度，便于透明材料表面的光学显微镜观察。
概述
本设备是一种带磁控靶的金属镀膜设备。当用光学显微镜（Ag 靶）观察透明材料的表面或用电子显微镜（Au/Ag 靶）在少量样品上涂导电膜时使用。
主要产品规格
| 物品 | 规格 |
| 电源 | AC100V, 10A 使用带地线的三脚插头 |
| 设备尺寸 | 宽180mm、深270mm、高 183mm（装置重量4.2kg） |
| 回转泵 | 排气速度 5 ℓ/min (G- 5DA) (泵重量 5.5 kg) |
| 样品室尺寸 | 内径86mm，高度60mm（硬玻璃） |
| 样品台尺寸 | Φ83mm |
| 样本量 | 有效直径Φ30mm，高度20mm以下 |
| 目标 | Φ30mm 磁控管电极 Au（标准），选项（Ag） |
