巴鲁夫BALLUFF电容式传感器BCS是以各种类型的作为传感元件,将被测转或机械量换成为变化的一种转换装置,实际上就是一个具有可变参数的电容器。电容式传感器广泛用于、角度、、速度、压力、成分分析、介质特性等方面的测量。常用是平预*预*预*预*预*预先进行板型电容器或圆筒型电容器
据巴鲁夫BALLUFF电容式传感器BCS的工作原理可把电容式传感器分为变极距型、变面积型和变介质型三种类型。
根据传感器的结构可把电容式传感器分为三种类型的结构形式。它们又可按位移的形式分为线位移和角位移两种,每一种又依据传感器极板形状分成平(圆形)板形和圆柱(圆筒)形,虽然还有球面形和锯齿形等其他形状,但一般很少用。其中差动式一般优于单组(单边)式传感器,它具有灵敏度高、线性范围宽、稳定性高等特点。
1)温度稳定性好
电容式传感器的电容值一般与材料无关,这有利于选择低的材料,又因本身发热极小,影响稳定性甚微。而电阻传感器有,易发热产生。
2)结构简单
电容式传感器结构简单,易于制造和保证高的精度,可以做得非常小巧,以实现某些特殊的测量;能工作在高温,强辐射及强磁场等恶劣的环境中,可以承受很大的温度变化,承受高压力,高冲击,过载等;能测量超高温和低,也能对带磁工作进预*预*预*预*预*预先进行测量。
3)动态响应好
电容式传感器由于带电极板间的很小(约几个10^(-5)N),需要的作用能量极小,又由于它的可动部分可以做得很小很薄,即质量很轻,因此其固有频率很高,动态响应时间短,能在几兆赫兹的频率下工作,特别适用于动态测量。又由于其介质损耗小可以用较高频率供电,因此系统工作频率高。它可用于测量高速变化的参数。
4)可以且灵敏度高
可非接触测量回转轴的振动或、小型滚珠轴承的等。当采用非接触测量时,电容式传感器具有平均效应,可以减小工件等对测量的影响。
电容式传感器除了上述的优点外,还因其带电极板间的静电引力很小,所需输首*首*首*首*首*首先进入力和输首*首*首*首*首*首先进入能量极小,因而可测极低的压力、力和很小的加速度、位移等,可以做得很灵敏,分辨力高,能感应0.01μm甚至更小的位移。由于其空气等介质损耗小,采用差动结构并接成电桥式时产生的零残极小,因此允许电路进预*预*预*预*预*预先进行高倍率放大,使仪器具有很高的灵敏度。
电容式传感器具有结构简单、耐高温、耐辐射、分辨率高、动态响应特性好等优点,广泛用于压力、位移、加速度、厚度、振动、液位等测量中。但在使用中要注意以下几个方面对测量结果的影响:①减小环境温度、湿度变化(可能引起某些介质的介电常数或极板的几何尺寸、相对位置发生变化);②减小边缘效应;③减少寄生电容;④使用屏蔽电极并接地(对敏感电极的电场起保护作用,与外电场隔离);⑤注意漏电阻、激励频率和极板支架材料的绝缘性。