ContourX-500 三维光学轮廓仪

ContourX-500光学轮廓仪是全面的快速，非接触式3D表面计量自动化台式系统。该系统集成了布鲁克专有的自动倾斜光学测头，可以编程并自动测试一定角度范围内的表面特征，并能大程度地减少跟踪误差。ContourX-500满足计量要求，具有Z轴分辨率和准确性，并在更小的占地面积内提供了布鲁克的白光干涉仪（WLI）落地式型号所有业界的优点。利用业界的用户界面，ContourX-500可以直观地调用多种预设好的滤镜和分析工具。借助其新的USI通用扫描模式，本产品可以轻松地针对各种复杂应用场景定制分析方法。这些场景涵盖了从精密加工表面和半导体工艺制程，到眼科和 MEMS器件的R＆D表征。

台式三维形貌计量设备 

• 与放大倍率无关的业界最好Z轴分辨率 

• 高级自动化功能，包含带编码器的XY轴样品台、自动测头倾斜和自动亮度调整 

• 更紧凑的气动减震台设计 

测量与分析功能 

• 易于使用的界面，可快速准确地获得结果 

• 广泛的自动化功能，可量身定制测量和分析程序 

• 广泛的滤镜和分析工具 

• 满足包括ISO 25178, ASME B46.1, ISO 4287等标准在内的定制化分析报告

  
  

高级自动化功能 

布鲁克专有的自动倾斜测头为生产和监测提供了的灵活性。通过将自动倾斜测头与光学装置耦合在显微镜上，布鲁克实现了测试位置不受倾斜角度影响的测量。这样可以减少操作员的干预，提供最大的可重复性。进一步结合自动样品台和物镜塔台，使得ContourX-500非常适合“按需测量”工业要求，且占用空间小。 

分析与回报 

通过上千项自定义分析功能和简洁而强大的VisionXpress™ 和Vision64®用户界面，ContourX-500为提高实验室和工厂车间的生产率进行了优化。这种的硬件和软件组合提供了 对高可重复性和高通量计量学测量的便捷访问，超过了同类 计量设备的能力。