POLOS 200 Advanced

POLOS 300 Advanced

POLOS 450 Advanced

   程序段数：

无限制

无限制

无限制

   操作步数：

无限制

无限制

无限制

   旋转速度：

0-12,000rpm ±1rpm  steps

0-12,000rpm ±1rpm  steps

0-1500rpm ±1rpm  steps

   旋转精度：

± 0.1 rpm

± 0.1 rpm

± 0.1 rpm

   旋转方向:

顺时针、逆时针、交换摆动

顺时针，逆时针、交换摆动

顺时针，逆时针、交换摆动

   zui大加速度

30,000 rpm/sec

30,000 rpm/sec

≤1500rpm时取决于负载

   旋转时间：

无限制*, ± 0.1S steps

无限制*, ± 0.1S steps

   基片范围:

260mm 直径or  6ʺ 方片

360mm 直径or  8ʺ 方片

460 mm直径or350mm方片

   腔体直径：

302 mm

402 mm

502mm

   外形尺寸：