OLYMPUS/奥林巴斯 品牌
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奥林巴斯的USPM-RU-W近红外显微分光测定仪可以高速&高精细地进行可视光区域至近红外区域的大范围波长的分光测定。由于其可以很容易地测定通常的分光光度计所不能测定的细微区域、曲面的反射率,因此zui适用于光学元件与微小的电子部件等产品。
实的测定功能
使用一台即可进行反射率、膜厚、物体颜色、透过率、入射角45度反射率的各种分光测定。
◆测定反射率
测定以物镜聚光φ17~70μm的微小点的反射率。
◆测定膜厚
活用反射率数据,测定约50nm~约10μm的单层膜、多层膜的膜厚。
◆测定物体颜色
根据反射率数据显示XY色度图、L*a*b色度图及相关数值。
◆测定透过率
从受台下部透过φ2mm的平行光,测定平面样品的透过率。(选配)
◆测定入射角为45度的反射率
从侧面向45度面反射φ2mm的平行光,测定其反射率。(选配)
域的高精度&高速测定
◆实现高速测定
使用平面光栅及线传感器进行全波长同时分光测定,从而实现高速测定。
◆zui适用于测定细小部件、镜片的反射率
新设计了可以在φ17~70μm的测定区域中进行非接触测定的物镜。通常的分光光度计不能进行测定的细小电子部件或镜片等的曲面,也可以实现再现性很高的测定。
◆测定反射率时,不需要背面防反射处理
将物镜与环形照明组合,不需要进行被检测物背面的防反射处理,就可测定zui薄0.2mm的反射率*。
◆可选择的膜厚测定方法
USPM-RU-W近红外显微分光测定仪根据测定的分光反射率数据进行单层膜或多层膜的膜厚解析。可以根据用途选择*的测定方法。
:规格 | |||||
| 反射率测定 | 透过率测定*1 | 45度反射测定*1 | ||
名称 | 近红外显微分光测定仪 | 近红外显微分光测定仪用 透过测定选配件 | 近红外显微分光测定仪用 45度反射测定选配件 | ||
型号 | USPM-RU-W | ||||
测定波长 | 380~1050nm | ||||
测定方法 | 对参照样品的比较测定 | 对*基准的透过率测定 | 对参照样品的比较测定 | ||
测定范围 | 参照下列对物镜的规格 | 约ø2.0mm | |||
测定 再现性(3σ)*2 | 反射率测定 | 使用10×、20×物镜时 | ±0.02[%]以下(430-1010nm)、 ±0.2[%]以下(上述以外) | ±1.25[%]以下(430-1010nm)、 ±5.0[%]以下(左侧记载除外) | |
使用40×物镜时 | ±0.05[%]以下(430-950nm)、 ±0.5[%]以下(上述以外) |
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厚膜测定 | ±1% | - | |||
波长显示分解能 | 1nm | ||||
照明附件 | 卤素灯光源 JC12V 55W(平均寿命700h) | ||||
位移受台 | 承载面尺寸:200(W)×200(D)mm 承重:3 kg 工作范围:(XY) ±40mm, (Z)125mm | ||||
倾斜受台 | - | 承载面尺寸: 140(W)×140(D)mm 承重: 1 kg 工作范围:(XT) ±1°, (YT) ±1° | |||
装置质量 | 主体:约26 kg(PC除外) | 主体:约31 kg(PC除外)*3 | |||
控制电源箱:约6.7kg | |||||
装置尺寸 | 主体部位:360(W)×446(D)×606(H)mm | 主体部位:360(W)×631(D)×606(H)mm | |||
控制电源箱:250(W)×270(D)×125(H)mm | |||||
电源规格 | 输入规格:100-240V (110VA) 50/60Hz | ||||
使用环境 | 水平无振动的场所 温度:15~30℃ 湿度:15~60%RH(无结露) |
*1 选件组件 *2 本社测定条件下的测定 *3 装配透过率测定套件与45度反射测定套件的总重量为33kg。
对物镜 | |||
型号 | USPM-OBL10X | USPM-OBL20X | USPM-OBL40X |
倍率 | 10x | 20x | 40x |
NA | 0.12 | 0.24 | 0.24 |
测定范围*4 | 70μm | 34μm | 17μm |
工作距离 | 14.3mm | 4.2mm | 2.2mm |
样品的曲率半径 | ±5mm~ | ±1mm~ | ±1mm~ |
*4 点径