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日立全新一代高分辨钨灯丝扫描电镜SU3800采用全新的HexBias偏压技术，使其低电压性能大大提升，同时升级的高灵敏度背散射探测器和可变压力探测器使得SU3800的观察能力进一步提升。SU3800还增加了IFT灯丝监控技术、全新的光镜导航、集成的能谱以及报告导出等功能，使其操作也变得更为简单。
主要特点：
应用领域： 材料科学、生命医学、食品卫生、半导体电子元器件、汽车制造等。
主要参数：
| 电子枪 | 预对中钨灯丝 |
| 加速电压 | 0.3kV – 30kV |
| 分辨率 | 3.0nm@30kV (SE) |
| 15.0nm@1kV (SE) | |
| 4.0nm@30kV (BSE, LV) | |
| 放大倍率 | 5x – 300,000x（底片倍率） |
| 7x – 800,000x（显示器倍率） | |
| 探测器 | 二次电子探测器，高灵敏度无分割背散射电子探测器 |
| 可变压力探测器UVD 2.0* | |
| 低真空可变压力范围 | 6 – 650Pa |
| 样品台（三轴马达） | X: 0 - 100 mm |
| Y: 0 – 40 mm | |
| Z: 5 – 65 mm | |
| R: 0 – 360° | |
| T: -20° - +90° |
*选配
