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用于故障分析和大型样品研究的纳米计量工具
作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器,其主要目的是对样品进行缺陷检测。而仪器所提供的数据不能允许任何错误的存在。Park NX20,这款精密的大型样品原子力显微镜,凭借着出色的数据准确性,在半导体和超平样品行业中大受赞扬。
*大全面的分析功能
Park NX20可快速帮助客户找到产品失效的原因,并帮助客户制定出更多具有创意的解决方案。优秀的精密度为您带来高分辨率数据,让您能够更加专注于工作。与此同时,真正非接触扫描模式让探针尖头更锋利、更耐用,无需为频繁更换探针而耗费大量的时间和金钱。。
即便是第一次接触原子显微镜的工程师也易于操作
ParkNX20拥有业界最为便捷的设计和自动界面,让你在使用时无需花费大量的时间和精力,也不用为此而时时不停的指导初学者。借助这一系列特点,您可以更加专注于解决更为重大的问题,并为客户提供及时且富有洞察力的失效分析报告。
样品侧壁三维结构测量
NX20的创新架构让您可以检测样品的侧壁和表面,并测量它们的角度。众多的功能和用途正是您的创新性研究和敏锐洞察力所具备的。
对样品和基片进行表面光洁度测量
表面光洁度测量是Park NX20的关键应用之一,能够带来精确的失效分析和质量保证。
高分辨率电子扫描模式
QuickStep SCM
最快的扫描式电容显微镜
PinPoint AFM
无摩擦导电原子力显微镜
多种技术帮助顾客减少测试时间
· CrN样品所做的针尖磨损实验
通过对比重复扫描情况下探针尖头的形状变化,您可以轻易看到Park的真正非接触模式的优势所在。
· 最佳AFM测量
借助真正非接触模式,探针尖头在扫描氮化铬样品(即探针检测样品)200次后仍可保持锋利的状态。氮化铬的表面粗糙且研磨性强,会让普通的探针很快变钝。
低噪声Z探测器测量准确的样品表面形貌
没有压电蠕变误差的真正样品表面形貌
超低噪声Z探测器,噪音水平低于0.02 nm,从而达到非常精准样品形貌成像,没有边沿过冲无需校准。Park NX20在为您提供好的数据的同时也为您节省了宝贵的时间。
· 使用低噪声Z探测器信号进行台阶形貌测量
· 在大范围扫描过程中系统Z向噪音小于0.02 nm
· 没有前沿或后沿过冲现象
· 终身无需校准,减少设备维护成本
闭环控制XY平板扫描器
扫描范围 : 100μm x 100μm
50μm x 50μm
20位位置控制和24位位置传感器
XY行程范围 : 150 mm (200 mm选配)
Z行程范围 : 25 mm
对焦行程范围: 8 mm
导向强力Z扫描器
扫描范围 : 15 µm
30 µm
20位位置控制和24位位置传感器
样品最大尺寸:150 mm (200 mm选配)
真空样品吸附
10× (0.21 NA) 超长工作距离镜头的物镜
20× (0.42 NA)高分辨率,长工作距离镜头的物镜
同轴光源设计
10倍光学物镜和数码放大
光学物镜视场 : 840 × 630 µm (420 × 315 µm选配)
CCD : 5M pixel
Dedicated system control and data acquisition software
Adjusting feedback parameters in real time
Script-level control through external programs(optional)
AFM data analysis software
ADC : 18 channels
4 high-speed ADC channels
24-bit ADCs for X, Y, and Z scanner position sensor
DAC : 17通道
2 high-speed DAC channels
20-bit DAC的X, Y和Z扫描器定位
最大数据量 : 4096 x 4096像素
3 channels of flexible digital lock-in amplifier
Digital Q control
20 embedded signal input/output ports
5个TTL
输出 : EOF, EOL, EOP, Modulation和AC bias
真正非接触模式
PinPoint™ AFM
接触模式
侧向摩擦力显微术 (LFM)
相位成像
轻敲模式
扫描电容显微镜 (SCM)
导电原子力显微镜
静电力显微镜 (EFM)
压电力显微镜 (PFM)
扫描开尔文探针显微镜(SKPM)
磁力显微镜(MFM)
扫描热感显微镜(SThM)
力.距离曲线
扫描隧道显微镜(STM)
力调制显微镜(FMM)
纳米压痕
纳米刻蚀
纳米操纵