TMC主动空气隔振调平系统PEPS II
PEPS II建立在TMC的*利PEPS（精密电子定位系统）基础上并对其进行了改进。通过添加新的数字控制器，PEPS II更易于使用，提供了更多功能，还有一个改进的用户界面。PEPS II是一种用于TMC气动隔振系统的数字非接触式高度控制系统。这种系统通常包括机械高度阀和机械高度传感连杆。其应用包括需要改善稳定时间和提高产量的半导体制造设备以及需要最佳噪声性能和平台稳定性的精密实验室环境。
TMC主动空气隔振调平系统PEPS II特点
●数字控制，用户友好的LCD界面
●用于Gimbal Piston、CSP和MaxDamp隔振系统的非接触式电动气动高度控制
●Z轴位置重现性：10微米
●由于消除了传统机械高度控制系统的杠杆接触点，从而改善了隔振效果
●气动前馈功能最大限度地减少了Z轴对X-Y平台运动的反应
●可以调整以快速稳定由X-Y平台引起的运动
●可选的“VX”功能集成了惯性传感器，用于主动阻尼垂直隔振器共振
●与“软坞站”兼容。允许在没有运动安装的情况下加载/卸载晶圆
●相称的电子阀门。“开关”或传统电子阀不会产生脉冲噪声
●排气管用于废气的清洁处理
●逻辑停靠控制和状态
规格
物理尺寸 | PEPS II控制器 1.72英寸（43.7mm）高 x 8.0英寸（203mm）宽 x 9.4英寸（240 mm）深 |
重量 | PEPS II控制器：约3.0磅（1.2千克） |
环境
（参见EN 61010-1：1993,
EN 61010-1/A2: 1995） | 仅限室内使用，最高2,000米海拔（6560英尺）
最大允许温度范围：5°C至35°C
最大允许湿度：31°C以下时为80％，40°C时线性降至50％相对湿度
主电源电压容差：85 VAC - 240 VAC
过电压类别：2
污染等级（IEC 664）：2
通风要求：两侧间隙25毫米，上下间隙0毫米 |
电源要求 | 电源输入电压范围：90-230 VAC
输入频率范围：50-60 Hz |
PEPS II用户界面
（前面板） | 电源开关
4个菜单按钮
LCD显示20 x 2个字符
2个诊断插座（BNC型）
三色状态指示灯
USB 端口 |
PEPS II 界面
（后面板） | 带EMI滤波器的交流电源输入
1个空气输入卡入式端口，用于1/4英寸外径管道
1个空气输出（排气）卡入式端口，用于1/4英寸外径管道
4个空气卡入式端口，用于1/4英寸外径管道（每个隔振器一个）
DB-25公头输入端-输出端和前馈插座
1个Phoenix 0.2英寸间距6引脚绿色接头（垂直接近传感器）
1个Phoenix 3.5毫米间距6引脚黑色接头（水平接近传感器）
接地螺纹螺柱（＃10-32螺纹）
DB-25 F插座：1个数字输入端，3个地震检波器传感器接口（“-VX”选件）
DB-25 F插座：1个数字输入端，3个电流输出接近传感器（可选） |
PEPS II
性能规格 | 模拟输入（单极）：8 x 12位（16位使用过采样），0 ... 3.0 V满量程
模拟输入（前馈）：5 x 12位
（16位使用过采样），±9 V满量程
模拟输入（单极）保护：+5伏，-0.5 V限幅
模拟输入（前馈）保护：±15伏限幅
模拟输出：4 x 12位（16位使用采样），0 ... 3.0 V满量程
模拟输出（可选）：8 x 16位，0 ... 3.0 V满量程
模拟输出保护：无限短路保护，+5伏限幅
数字输入电压额定值：0 ... +3.3 V，+5 V容差（+5伏限幅）
数字输出额定值：0 ... + 3.3 V，最大20 mA
数字I/O保护：+5伏，-0.5伏限幅
外部可用电源：+5 VDC，最大2.0 A；+15 VDC，最大1.0 A（最大20瓦）
通讯端口：USB，在PC上显示为RS-232
处理器：ARM7TDMI / 41.78 MHz
控制回路率：100 Hz - 2.0 KHz
接近传感器：3个垂直、（3个水平可选）涡流，NAMUR 0-20 mA输出
速度传感器 - 地震检波器（“-VX”选件）：3个垂直，电流输出 |
气动规格 | 长期高度稳定性：±50微米
长期倾斜稳定性：±50微弧度
伺服阀：4 x 双向可变节流孔比例伺服阀
阀门技术：纯甲类
最大输入压力：120 PSI或8.3巴或830 KPa
标称耗气量：60标准升/分钟（2标准立方英尺/分钟）
空气要求：洁净、干燥的空气，过滤至20微米或以上
故障安全：隔振器在电源故障或断电时会放气
气动接头：“一触式”快速接头，适用于1/4英寸外径软管 |
性能
