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大负载主动气浮桌腿型光学平台隔振器
产品简介
明立精机的MAPS 系列产品的除振系统是在精巧的形状中加入垂直与水平用的气压驱动器而构成的组装型除振装置。使用1 组4 个的话，对应全自由度的振动，能发挥出优秀的除振性能、制振性能、定位性能等。
产品特点
MAPS 可以消除被动除振的困难频段的振动
标准的MAPS 可除振10 吨以上的设备
搭载工件等移动装置也不会摇摆
MAPS 具有优秀的精确定位及精密校平性能
MAPS 是小型易操作的组合型系列
MAPS 是构成精密设备的一个重要部分
应用领域
半导体制造，激光加工等
主要规格和参数表
