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光电流基础测试探针台
产品简介
T5500B探针台具有较高的性价比。较低的泄漏电流~50fA使得其易于测试6英寸的圆晶和破损的样品。同时具有较强的拓展性，客户可以根据自己的需求选用加热吸盘，高倍显微镜，底座和屏蔽箱等。
产品优势
•精度高
•测试稳定
•操作方便
•多种测试技术
•低泄漏电流
技术规格
样品台
尺寸 | 6英寸，低泄漏电流 <50fA |
X-Y行程 | 100mm×100mm |
X-Y行程精度 | 5μm |
Z行程 | 10 mm |
Z行程精度 | 1μm |
显微镜行程 | x-y 50mm×50mm 精度5μm |
显微镜
显微镜 | 放大倍数90倍 样品台<100μm |
CCD 相机 | 放大倍数300倍 样品台<50μm |
高倍显微镜 | 放大倍数1000倍 样品台<10μm |
CCD相机
2.1M像素 CCD C-mount 1/3 英寸
15 英寸LCD显示器
针座平台
行程6mm 精度3μm
真空平台 行程6mm 精度3μm
探针
M5BG | M1.5BT |
尺寸：0.5×25mm | 尺寸：0.5×30mm |
漏电精度 ：<10fA | 针尖直径：5μm |
针尖直径：5μm |
应用
IV测试
CV测试 可靠性测试
