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EUV，X射线波前探测器（X射线光束分析仪）
该款EUV，X射线Hartmann-Shack波前传感器配置是为全面分析激光束和光学特性而设计。系统采用微透镜阵列将入射波分成大量的子射线（如右下图），每个焦点的强度和位置由CCD相机获取，经后续计算重构得到光强分布和波前分析。
主要特点：
EUV，X射线波前探测器（X射线光束分析仪）
该款EUV，X射线Hartmann-Shack波前传感器配置是为全面分析激光束和光学特性而设计。系统采用微透镜阵列将入射波分成大量的子射线（如右下图），每个焦点的强度和位置由CCD相机获取，经后续计算重构得到光强分布和波前分析。
主要特点：
