皮米精度位移测量仪

昊量光电推出的皮米精度位移测量仪quDIS是低至纳米范围位移测量的理想仪器，达到了*50pm的重复精度。quDIS支持三个测量通道，使其可以适用于任意多轴测量应用。皮米精度位置测量仪同样采用激光干涉法，不过与传统激光干涉仪相比，其集成了法珀腔（Reference cavity）及饱和吸收气室（GC）作为频率校准参考，通过激光波长调谐扫描，比较两种不同的干涉图样，可以实现其它设备所不具有的距离测量。因此，皮米精度位移测量仪不仅可以获得位置、速度和加速度等信息，折射率、反射率或表面倾斜度等信息也可以从实时信号中得到。

干涉传感头

根据反射目标的不同，所有应用都需要不同的准直、聚焦和光束剖面约束。激光束的成型是通过不同的传感器头来实现的。所有的quDIS的传感器头都是基于光纤的，除了标准准直仪和已建立的聚焦头，quDIS还为恶劣环境下的应用程序设计了特殊的头。

用于测量高温漂移物体的传感器头的设计

镍铁合金制造的低热膨胀系数准直头

产品关键特性：

• 信号稳定性：< 0.05nm

• 距离测量

• 0.1——20m工作距离

• 工作带宽25kHz

• 目标速度1m/s

• 3个传感头，多设备同步

应用领域：

• 干涉距离测量

• 振动分析

• 束线中断补充

• 间隙和边缘测量

• 环境振动分析

• 位移台精度评估

皮米精度位置测量仪参数列表：