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我们压电马达位移平台不仅可以完美完美匹配常压环境的应用,还可以用于高真空(HV,1E-6 mbar)和超高真空(UHV,1E-11 mbar)。
我们可提供在超高真空环境下工作的线性平台、转台和多维运动系统。UHY版本平台蕞高可工作在150℃环境下,并且可提供两种不同类型的电缆。
1) 经济型的特氟龙绝缘电线
2) 卡普顿绝缘电线是一种无氟解决方案。
此外我们还针对高真空和超高真空提供对应的航空插头,通常我们使用
1) HV为密封O型圈的隔板LEMO航空导线
2) 用于超高压的紧密焊接航空插头
对于使用在高温下的平台,建议采用刚度更高的U型底座。该底座与标准品孔位*相同,但是会相应的增加平台的宽度。
在不同真空条件下平台配置可参见下图: