DMD无掩膜光刻机

DMD无掩膜光刻机SMART PRINT UV是一种基于DMD投影技术的无掩模光刻设备，可兼容多种电阻和基片。SMART PRINT UV可以生产任何微米分辨率的二维形状，而不需要硬掩模。基于改进后的标准投影技术，投影出具有微米分辨率的图像，无掩膜光刻机SmartPrint无需任何进一步步骤，就能直接从数字掩模光刻出您要的图。无掩膜光刻机SmartPrint主要应用是微流体，生物技术和微电子等领域光刻表面微纳图案。

DMD无掩膜光刻机主要特性：

兼容i、h、g线光刻胶

SmartPrint-UV配备了385 nm LED源，以兼容标准i, h和g线光刻胶，如SU8或AZ®1500系列

适用于各种各样的基材

我们的物镜范围经过精心选择，具有较长的工作距离(高达3厘米)，使SP-UV成为一种非接触式技术，因此兼容非标准基材(非平的，灵活的，厚的)。

可调直写范围和分辨率——用户可获得四种不同的直写分辨率      

 最优直写分辨率1.5um                                                                     

兼容任何尺寸的样品，最大5平方英寸                                         

对齐方式直观——反馈相机与第二束590nm准直光源叠加使用

体积小，性价比高

DMD无掩膜光刻机应用领域：

 光器件         微流控         微电子

DMD无掩膜光刻机指标参数：