Mprobe 20 薄膜测量系统 (单点测量)

MProbe 20是一款桌面式单点薄膜厚度测量系统，只需点击鼠标薄膜厚度和折射率测量，测量厚度范围1nm-1mm，MProbe 20可对多层膜层进行测量。不同的MProbe 20配置主要由光谱仪的波长范围和分辨率来区分，这又决定了可以测量的材料的厚度范围和类型。该测量技术基于光谱反射率，具有快速、可靠、无损等特点。在世界范围内有成千上万的应用。

Mprobe 20 薄膜测量系统 (单点测量)配置包括：

主单元(包括光谱仪、光源、光控制器、微处理器)
SH200A样品台，带对焦镜头，可微调
光导纤维反射探头
TFCompanion -RA软件、USB适配器(授权密钥)、USB记忆棒附带软件发行、用户指南等资料
根据型号和黑色吸收体的不同，校准装置(裸硅片和/或石英板和/或铝镜)
测试样品200nm的氧化硅或PET薄膜，视型号而定
USB或LAN线(用于连接主机和PC)
24VDC电源适配器(110/220V)

核心指标:
精度:<0.01nm或0.01%(在200nm的氧化物上测量100次)
精度:<1nm或0.2%(依赖于filmstack)
稳定性:< 0.02nm或0.2%(每天测量20天)
光斑大小:< 1毫米
样本尺寸:>= 10mm
参见下面小册子中MProbe 20薄膜厚度测量系统可用配置的详细规格

选型列表：