Kaleo MultiWAVE多波长动态干涉仪

【KALEO MultiWAVE 简介】

Phasics在光学计量领域持续创新，推出能够兼顾测量透射波前误差和反射波前误差（TWE / RWE）的革命性新产品：Kaleo MultiWAVE动态干涉仪。 直径高至5.1英寸（130毫米）的镀膜和未镀膜的光学器件可在其工作波长下直接进行测量。 Kaleo MultiWAVE是购买多台干涉仪或特殊波长干涉仪的有效替代方案，拥有*性价比。 该系统同时可提供媲美Fizeau干涉仪测量精度，及动态干涉仪的抗震性能。

【关于Phasics】

Phasics是一家专注于高分辨率波前传感技术的法国公司。Phasics公司凭借其在测量方面的专业经验与*的波前测量技术为客户提供全面的高性能波前传感器。

一、 Kaleo MultiWAVE多波长动态干涉仪主要特点

• 紫外、可见光、近红外、短波红外、中远红外等任意多波长定制

• 单台干涉仪可集成多个工作波长

• 纳米级相位分辨率

• 超高动态范围 (>500 条纹数)

二、KALEO MultiWAVE 应用

• 光学元件及光学系统计量

三、KALEO MultiWAVE 测量案例

四、KALEO MultiWAVE 指标参数(1)

(1) 四英寸口径，使用625 nm光源

(2) 在4英寸参考镜上执行36次连续测量，每一次测量使用均化值为16次。 参考定义为所有奇数测量的平均值。 RMS重复性定义为RMS平均差值，加上偶数测量值与参考之间差值的标准偏差的2倍。

(3) 1 µm PV 离焦像差下