原位薄膜厚度测量仪

原位薄膜厚度测量仪用于测量薄膜厚度和 n&k（光学常数）的实时光学测量仪。该系统可以在高环境光下工作，因为它使用门控数据采集，使用高强度闪光氙灯在宽带 ( UV-NIR) 波长范围内进行精确测量。MProbe 50 系统是*可定制的，以支持不同的真空室几何形状。根据可用的光学端口，可以使用斜入射或垂直入射。光可以聚焦在样品表面或准直。反射探头可以放置在沉积室光学端口的外部或内部（使用光纤馈通）。MProbe 50 系统没有活动部件。典型测量时间~10ms。可以快速可靠地测量任何半透明薄膜。

优势：

1.原位薄膜厚度和 n&k 测量

2.用于高环境光环境下测量的门控数据采集

3.材料：500+ 扩展材料数据库

4.连续、快速和可靠的测量

5.灵活的配置——*定制以匹配沉积室的几何形状

选型列表：

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