Micro-LED晶圆台测试系统

随着Mini-LED晶圆台测试系统和Micro-LED 晶圆台测试系统（简称M-LED）尺⼨的⼤幅缩⼩，光通量的下降，检测难度在不断上升，检测数量也在⼤幅增加，对其综合光电性能的检测也提出了更多更新的要求。为此，Aunion Tech推出了全新开发的⾃主品牌晶圆级I-V-L-S综合光电性能测试台系统。 Micro-LED 晶圆台测试系统可以⽀持蕞⼩10um尺⼨的Micro-LED的点亮测试；可以⽀持正装或倒装M-LED的测试；不仅能对单 颗M-LED进⾏I-V-L（电流-电压-亮度）曲线的测试，还能获得⾊度、主波⻓DWL和光谱信息；不仅能观察单颗LED⾃身的亮度、⾊度分布，还能实现对阵列M-LED的亮度、⾊度、波⻓均匀性分布进⾏测量和分析。 Micro-LED 晶圆台测试系统实现了对M-LED的综合光电性能测试，是Micro-LED/Mini-LED企业研发、实验的检测设备。

M-LED的I-V-L-S综合光电性能测试台

• 显微成像+探针点亮模块：蕞⼩⽀持10um尺⼨Micro-LED产品 

• 超⼤量程的综合光电性能测试 

  - I-V-L-S测试集成电流、电压、亮度、⾊度、主波⻓、光谱等多种信息 

  - 可⽀持0.0001-1010 cd/m² 超⼤量程，完整测试M-LED的特性 

  - ⽀持100pA到1A的超⼤量程测试 

• 精密运⾏控制台 

• 隔振光学平台

Micro-LED晶圆台测试系统技术规格：