美国GasPro TEM-100过滤器PTFE产品介绍

TEM-100高流量ePTFE串联滤器

GasPro TEM-100系列滤波器设计用于3 nm颗粒截留率高达300 scfm，且温度高达80C（176 F）。ePTFE膜（2.04 m2/22.0平方英尺)使用聚丙烯支撑结构封闭在316L不锈钢外壳，具有的流动性和耐化学性。使用标准Viton O形圈（其他O形圈材料可在重新测试时获得）。

TEM-100过滤器应用程序

•通用和工艺惰性气体设施半导体、平板显示器等高纯度产品应用程序。

•用于关键平板工艺的气体，包括基板退火。

•关键工艺的清洁干燥空气，包括前开口统一吊舱（FOUP）清洁和光刻

TEM-100规格说明

•过滤等级我们的多孔ePTFE过滤器可提供有效的3 nm颗粒保留。

•高工作温度*80°C（176°F）。

建议更换：在69ºC（156ºF）以上运行6个月。

•大工作压力20°C（68°F）时为17.2 bar（250 psig）。

•大正向流量压差20ºC（68ºF）：6.0bar（87 psi）

80ºC（176ºF）：4.0bar（58 psi）

TEM-100功能和优点

•电抛光外壳过滤器组件具有15Ra电抛光316L不锈钢外壳，防止腐蚀和粒子在内表面上积聚。

•包装外清洁度

我们的GasPro™ 清洁TEM-100过滤器，并包装在无尘室内，不含有机物包装外、无颗粒和无化学品清洁度。终组装已清除使用过滤氮气进行初始清洁。附加的预处理是可选的。

•多种配件选项，便于安装标准配件选项包括端面/垫片密封，压缩、对焊和NPT。特殊配件，包括三夹钳（三叶草）卫生和法兰类型，可根据要求提供。

•氦泄漏测试所有装置均以1x10-9 atm cc/s的速度进行测试。

TEM-115-16 1.0“端面密封入口/出口

PTFE/316L不锈钢

钢聚丙烯

氟橡胶®密封*899.9毫米（35.43英寸）

TEM-128-24 1.5“FNPT入口/出口864 mm（34.0”）

TEM-150-24 1.5“短管入口/出口946.2 mm（37.25”）

TEM-160-24 1.5“三夹端889 mm（35.0”）

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