特种气体系统吹扫气体的设置应符合下列规定 :

1 自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性特种气体系统的吹扫气体应与独立的气源连接，不得与公用气源或工艺气源系统相连 ;

2 不相容性特种气体系统的吹扫气体不得共用同一气源 ;

3 吹扫气体管线应设置止回阀。

吹扫氮气的气体面板应设有压力调节阀、排气管 、高低压截止阀、高低压压力指示装置、安全阀。

特种气体系统的辅助抽真空装置的设置应符合下列规定 :

1 真空发生器宜采用氮气作为引射气源;

2 抽真空用氮气可由公用普通氮气供给;自燃性和腐蚀性气体 ，氮气供应管道应设置止回阀和微漏阀。

特种气体排气与废气处理的设置应符合下列规定 :

1 特种气体系统的排气管应设置氮气稀释与连续吹扫装置 ;

2 自燃性 、易燃性 、毒性 、腐蚀性特种气体的排空气体应经过尾气处理装置处理，处理后的气体应符合现行国家废气排放要求 。

特种气体尾气处理装置的设置应符合下列规定 :

1 尾气处理装置的类型 ，应根据所处理的排气中特种气体的特性进行选择 ，不相容特种气体应分别设置尾气处理装置 ;

2尾气处理装置应靠近特种气体柜 、气瓶架等特种气体设备布置;

3特种气体的尾气处理方法宜采用干式吸附 、湿式洗涤 、加热分解 、燃烧 、等离子分解 、稀释及以上几种处理方式的组合。