►产品介绍

德国弗莱贝格仪器的XRD-OEM(在线X射线衍射仪--X射线单晶定向仪)，主要用于对晶体的定向以及切口/平面形状和位置的测量。

XRD-OEM(在线X射线衍射仪--X射线单晶定向仪)可以直接集成到研磨或锯切设备中使用，将测量过程整合到工业生产中，解决了由于加工设备和定向测量过程分开而造成的定向误差等行业难题。

►XRD-OEM的特点

 --可以集成任何自动化或处理系统且适用于环境(研磨、锯切)

 --紧凑、标准的工业接口

 --独立定位测量，可测量平面或圆周

 --光学等级检测

 --解决了行业难题:

     -如果加工设备和定向测量是分开的，那么就会因为样品转移

      而造成定向误差

     -市场对于准确对齐的晶圆的需求量越来越大

 --将测量过程整合到工业生产中（研磨或锯切）

►技术参数

 --可测量材料：硅，碳化硅，砷化镓及更多

 --样品尺寸：钢锭直径450毫米

 --冷却：空气，低噪音

 --可能的用途：在锯/磨/平/缺口检测前对大型晶锭进行预对准

►应用实例

 硅锭取向:

 --磨削前对平面和缺口位置的检测

 --样品直径可达8 "，长度可达40厘米

►XRD-OEM适配普遍的打磨设备

 无需移动样本即可进行定向，可与打磨产线相结合直接进行在线检测

可以直接集成到基础机圆磨床72/856上